富创精密获得发明专利授权：“一种半导体欠驱动L型运动真空阀门”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示富创精密（688409）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种半导体欠驱动L型运动真空阀门”，专利申请号为CN202211684786.4，授权日为2025年7月25日。

专利摘要：本发明属于半导体制造技术及真空阀门领域，具体涉及一种半导体欠驱动L型运动真空阀门。一种半导体欠驱动L型运动真空阀门，包括阀板，阀板座，真空螺钉，止推轴承，波纹管一体轴，气缸座，气缸，限位座，支点轴承，连杆座，支点连杆，连接轴，挡圈，衬套，短连杆，扭簧，气缸连接座，支撑板，封板，外壳；所述气缸上端通过螺钉与气缸座固接，气缸下端与气缸连接座连接；气缸连接座通过螺钉与连杆座连接。本发明实现阀板的竖直运动，降低制造成本，再通过平行四边形机构结合滑块压紧机构实现阀板的水平运动，保证阀板与门框密封面在完全贴合时，避免轻微摩擦产生的污染及损耗，且保证阀板及O?ring受压均匀，保证阀的使用寿命。

今年以来富创精密新获得专利授权28个，较去年同期减少了33.33%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.21亿元，同比增7.47%。

通过天眼查大数据分析，沈阳富创精密设备股份有限公司共对外投资了22家企业，参与招投标项目68次；财产线索方面有商标信息28条，专利信息671条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可46个。

数据来源：天眼查APP

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