晶盛机电获得发明专利授权：“晶圆抛光面型控制方法及其模型训练方法、以及相关装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆抛光面型控制方法及其模型训练方法、以及相关装置”，专利申请号为CN202510447256.5，授权日为2025年7月15日。

专利摘要：本申请公开了一种晶圆抛光面型控制方法及其模型训练方法、以及相关装置，其中，晶圆抛光面型控制模型为包括生成器和判别器的生成对抗网络模型，晶圆抛光面型控制模型的训练方法包括：获取历史加工数据；其中，历史加工数据至少包括不同阶段的实际工艺控制参数、抛光前面型曲线数据和期望面型曲线数据；将抛光前面型曲线数据和期望面型曲线数据输入生成器，输出预测工艺控制参数；将预测工艺控制参数和实际工艺控制参数输入判别器，分别输出对预测工艺控制参数和实际工艺控制参数的真假判别结果；基于真假判别结果对晶圆抛光面型控制模型的参数进行迭代更新。通过上述方式，能够提高晶圆抛光面型的控制精度和生产效率。

今年以来晶盛机电新获得专利授权75个，较去年同期减少了7.41%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了11.19亿元，同比减2.29%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目195次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1046条，著作权信息135条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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