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华海清科获得发明专利授权:“一种基板减薄方法”

来源:证券之星企业动态 2025-07-15 02:39:12
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种基板减薄方法”,专利申请号为CN202211407531.3,授权日为2025年7月15日。

专利摘要:本发明公开了一种基板减薄方法,其包括:将待减薄的基板放置于运输定位盘,所述运输定位盘载置基板朝向减薄单元移动;所述运输定位盘移动过程中,视觉模块检测基板相对于运输定位盘的位置;根据视觉模块的检测结果,调整基板缺口的位置,使得基板缺口与基板圆心的连线垂直于运输定位盘的移动方向,调整基板与搬运机械手抓取位置同心;运输定位盘移动至交接位置,搬运机械手夹持基板并调整基板缺口的位置;夹持有基板的搬运机械手由交接位置摆动至减薄单元的转台吸盘后,再朝向转台吸盘的边缘摆动,使得基板缺口移动至转台吸盘多孔部的边缘;搬运机械手将基板放置于转台吸盘,减薄单元的砂轮磨削基板的表面。

今年以来华海清科新获得专利授权49个,较去年同期增加了133.33%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了3.82亿元,同比增25.76%。

通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目227次;财产线索方面有商标信息89条,专利信息684条,著作权信息30条;此外企业还拥有行政许可30个。

数据来源:天眼查APP

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