拓荆科技获得发明专利授权：“对中检测装置和应用于晶圆加热盘的对中装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“对中检测装置和应用于晶圆加热盘的对中装置”，专利申请号为CN202111632288.0，授权日为2025年7月4日。

专利摘要：本发明提供了一种对中检测装置，应用于待检测装置，所述待检测装置包括第一待检测装置和第二待检测装置，所述对中检测装置包括底座和至少3个位置测量机构，所述位置测量机构包括电连接的测量部和数据读取部，所述底座设置于所述第一待检测装置，所述测量部用于测量所述测量部的测量端部与所述第二待检测装置之间的距离，所述数据读取部用于读取所述测量部测得的所述距离，以根据所述距离调整所述第一待检测装置的位置，使所述第一待检测装置与所述第二待检测装置实现对中，解决了对中装置无法对套设在一起的待检测装置进行对中的问题，且该装置可以在真空条件下对待检测装置进行对中。本发明同时提供了一种应用于晶圆加热盘的对中装置。

今年以来拓荆科技新获得专利授权27个，较去年同期增加了145.45%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.56亿元，同比增31.26%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目98次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息698条，著作权信息22条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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