富创精密获得实用新型专利授权：“一种铸造铝合金晶圆加热盘结构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示富创精密（688409）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种铸造铝合金晶圆加热盘结构”，专利申请号为CN202422368428.3，授权日为2025年6月24日。

专利摘要：本实用新型涉及晶圆加热盘技术领域，具体是一种铸造铝合金晶圆加热盘结构，包括铸造盘体和shaft柱，铸造盘体包括一体铸造成型的盘体本体和金属加热器，金属加热器的加热部分在盘体本体内，金属加热器的接线端从shaft柱引出后将shaft柱焊接在盘体本体上；盘体本体为铸铝材料；铸造盘体选用Al?Si?Mg系；shaft柱采用铸铝材料铸造成型；铸造盘体和shaft柱采用压铸成型制成。该铸造铝合金晶圆加热盘结构在密封性、温度均匀性、制造成本、生产周期及产品一致性等方面均表现出显著的技术优势，为半导体制造行业提供了一种高效、可靠、经济的加热盘解决方案。

今年以来富创精密新获得专利授权25个，较去年同期减少了16.67%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.21亿元，同比增7.47%。

通过天眼查大数据分析，沈阳富创精密设备股份有限公司共对外投资了22家企业，参与招投标项目62次；财产线索方面有商标信息28条，专利信息666条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可46个。

数据来源：天眼查APP

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