富创精密获得实用新型专利授权：“一种适用于半导体的晶圆夹持机构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示富创精密（688409）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种适用于半导体的晶圆夹持机构”，专利申请号为CN202422368444.2，授权日为2025年6月24日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体行业晶圆夹持技术领域，具体是一种适用于半导体的晶圆夹持机构，包括夹持基座和夹持头，夹持头通过旋转机构连接在夹持基座上，夹持头由金属板和柔性单元组成，柔性单元设置在金属板一端的底部，在金属板的另一端设置有夹持头螺纹孔，在夹持基座上设置有与金属板上的螺纹孔相一致的基座螺纹孔，旋转机构包括旋转轴，旋转轴设置有与夹持头螺纹孔和基座螺纹孔相配合的外螺纹；晶圆放置在夹持基座上后，将夹持头的柔性单元沿着旋转轴旋转至晶圆的上方，拧紧旋转轴使得柔性单元和晶圆弹性接触。该夹持机构通过设计旋转夹持机构，并对夹持接触头进行材料优化，采用手动操作的方式，确保夹持机构稳定可靠，规避了晶圆损伤的问题。

今年以来富创精密新获得专利授权25个，较去年同期减少了16.67%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.21亿元，同比增7.47%。

通过天眼查大数据分析，沈阳富创精密设备股份有限公司共对外投资了22家企业，参与招投标项目62次；财产线索方面有商标信息28条，专利信息666条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可46个。

数据来源：天眼查APP

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