证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆后处理装置”，专利申请号为CN202311481969.0，授权日为2025年6月17日。
专利摘要：本发明公开了一种晶圆后处理装置，其包括：箱体；夹持组件，设置于箱体中，其包括夹持盘，用于夹持并带动晶圆旋转；防护组件，设置于夹持组件的外周侧，其包括旋转罩和固定罩；所述旋转罩连接于夹持盘的外沿，两者的连接处配置有旋转罩排液口；所述固定罩连接于箱体并同心设置于旋转罩的外侧，其下方设置有固定罩排液口；后处理形成的流体经由旋转罩排液口和固定罩排液口朝向箱体底部排放；还包括阻挡组件，其设置于固定罩与箱体的底板之间，以抑制飞散的雾滴经由所述固定罩排液口回沾于晶圆表面。
今年以来华海清科新获得专利授权47个，较去年同期增加了147.37%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。
数据来源：天眼查APP
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