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拓荆科技获得发明专利授权:“一种衬底传送装置及衬底传送方法”

来源:证券之星企业动态 2025-05-14 02:53:13
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拓荆科技(688072)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种衬底传送装置及衬底传送方法”,专利申请号为CN202010586841.0,授权日为2025年5月13日。

专利摘要:本发明提供了一种衬底传送装置及衬底传送方法,定位底座、定位杆和抓取装置,其中,底座位于本装置的下部,定位杆的一端与定位底座连接,定位杆的另一端与抓取装置连接。本发明一种具有取片功能的取片装置,在薄膜沉积结束后,可直接用该工具取送晶圆托盘,不受设备腔内温度的影响,且该机构使用安全,省力,在操作过程中,工具操作可以提高人身安全,克服了托盘较重、较大的苦难,加快了取片速度提高生产能力,降低操作者劳动强度,该装置运行方式灵活,处理效果稳定,提高了工作效率,减轻工人劳动强度,具有极高的生产经济价值。

今年以来拓荆科技新获得专利授权13个,较去年同期增加了116.67%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了7.56亿元,同比增31.26%。

数据来源:天眼查APP

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