证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆装卸装置及化学机械抛光系统”，专利申请号为CN202210677124.8，授权日为2025年5月13日。
专利摘要：本发明公开了一种晶圆装卸装置及化学机械抛光系统，所述晶圆装卸装置包括：托架，用于装载和/或卸载晶圆；托架座，连接于托架下方，用于支撑托架；支座，位于托架座下方并与托架座铰接；驱动机构，连接于支座下方，用于驱动支座沿竖向移动；其中，所述托架座和支座之间设置有弹性结构，所述弹性结构围绕所述托架座的中轴线并在径向同距设置，以通过所述弹性结构均匀分布的弹性力使所述托架座平行于所述支座。
今年以来华海清科新获得专利授权33个，较去年同期增加了153.85%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。
数据来源：天眼查APP
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