罗博特科获得实用新型专利授权：“一种PECVD及自动化上下料一体机”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示罗博特科（300757）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种PECVD及自动化上下料一体机”，专利申请号为CN202421899201.5，授权日为2025年5月13日。

专利摘要：本实用新型涉及一种PECVD及自动化上下料一体机，包括机架、花篮传输单元、硅片传输单元、插取片单元、舟流转单元、炉管单元，机架具有下层区域、上层区域，下层区域设置有花篮传输区域、硅片传输区域、插取片区域，上层区域设置有工艺区域，舟流转区域连通上层区域、下层区域；花篮输送单元设置在有花篮传输区域内；硅片传输单元设置在硅片传输区域内；插取片单元设置在插取片区域内；舟流转单元设置在舟流转区域内；炉管单元设置在工艺区域。本实用新型的PECVD炉管单元及自动上下料一体设置，占地空间小、精致小巧，性价比高、自动化程度高、稳定性高，同时能实现载舟稳定可靠的进出炉管单元。

今年以来罗博特科新获得专利授权15个，较去年同期减少了31.82%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了8435.7万元，同比减1.71%。

数据来源：天眼查APP

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