证券之星消息，根据天眼查APP数据显示富创精密（688409）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种高效率加热的晶圆加热盘结构”，专利申请号为CN202421413857.1，授权日为2025年4月25日。
专利摘要：本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体是一种高效率加热的晶圆加热盘结构，包括盖板、基座、柱和金属加热器，所述金属加热器固定安装在所述盖板的底部，所述基座的顶部固定连接在所述盖板的底部上，在所述基座的底部固定连接有柱，在所述基座与盖板之间设置有热阻结构。该高效率加热的晶圆加热盘结构通过将基座挖空，在金属加热器与基座之间增加热阻结构，同时减小金属加热器与基座、柱间的换热面积，提升盖板的加热效率，同时在相同的晶圆温度需求下降低加热消耗的电能，节省能源的同时降低碳排放。
今年以来富创精密新获得专利授权17个，较去年同期减少了10.53%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.03亿元，同比增11.76%。
数据来源：天眼查APP
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