华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆夹持机构、晶圆后处理装置及晶圆后处理方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆夹持机构、晶圆后处理装置及晶圆后处理方法”，专利申请号为CN202411918399.1，授权日为2025年4月15日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆夹持机构、晶圆后处理装置及晶圆后处理方法，所述晶圆夹持机构包括：转盘；卡爪组件，其沿转盘的周向设置，所述卡爪组件包括固定座和一对卡爪，所述一对卡爪环绕所述固定座上方的圆柱件设置；所述一对卡爪的相对面配置有磁极相同的磁块，两者的磁斥力使得卡爪围绕所述圆柱件相互远离，卡爪的接触柱朝向所述转盘的内侧移动而闭合卡爪；调控组件，其设置于固定座的侧方且其前端朝向卡爪之间的间隙设置；所述调控组件的前端能够产生与卡爪的磁块相异的磁极，所述调控组件与卡爪之间的磁吸力使得卡爪围绕所述圆柱件相互靠近，卡爪的接触柱朝向所述转盘的外侧移动而打开卡爪。

今年以来华海清科新获得专利授权30个，较去年同期增加了130.77%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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