晶盛机电获得发明专利授权：“一种用于外延生长系统的气体注射装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于外延生长系统的气体注射装置”，专利申请号为CN201811328247.0，授权日为2025年3月25日。

专利摘要：本发明属于晶体外延生长设备领域，具体涉及一种用于外延生长系统的气体注射装置。包括反应腔，反应腔包括前空腔和后腔，后腔内设有水平基座，基座上端面用于放置衬底，下端连接旋转轴，气体注射装置通过前法兰设于反应腔前端，主体为进气法兰，中部设有第二空腔，第二空腔后端与反应腔连通，第一空腔通过歧管构件连接第二空腔；气体注射装置前端连接封板，封板后端设有一水平凸起，凸起的上表面为圆弧曲面。排气装置通过后法兰设于反应腔后端。本发明提升了外延层的生长质量，不仅提升了外延层的厚度均匀性，还减少了晶体缺陷的产生，以满足市场对外延层质量日益严格的要求。

今年以来晶盛机电新获得专利授权37个，较去年同期减少了27.45%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6.11亿元，同比增1.92%。

数据来源：天眼查APP

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