颀中科技获得实用新型专利授权：“用于芯片制造的药液供给装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示颀中科技（688352）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“用于芯片制造的药液供给装置”，专利申请号为CN202420595368.6，授权日为2025年3月18日。

专利摘要：一种用于芯片制造的药液供给装置，包括：工作桶、进液管路、出液管路、与所述工作桶连通的排气管路、控制所述排气管路导通或关闭的电控阀体、连接于进液管路上的泵体和补给桶；所述进液管路具有与所述补给桶连通的进液进口和与所述工作桶连通的进液出口，所述进液进口所在高度高于所述进液出口所在高度；所述用于芯片制造的药液供给装置还包括控制单元和设置于所述工作桶上的液位传感器，所述液位传感器、所述电控阀体均与所述控制单元通讯连接；控制单元根据液位传感器数据控制电控阀体的关闭。本实用新型公开的药液供给装置能够及时的提醒用户更换药液，在更换药液的时候能够减少液体与外界空气的接触，从而减少了气泡的产生。

今年以来颀中科技新获得专利授权10个，较去年同期增加了400%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6821.45万元，同比增40.85%。

数据来源：天眼查APP

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