证券之星消息,根据天眼查APP数据显示颀中科技(688352)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“晶圆放置检反系统”,专利申请号为CN202420594805.2,授权日为2025年3月18日。
专利摘要:本实用新型提供了一种晶圆放置检反系统,其包括晶圆盒,包括具有开口的容置腔,所述容置腔间隔开设有若干用以容置晶圆的卡槽;位于若干所述卡槽排布方向一侧的光电传感器,且所述光电传感器位于与所述晶圆的缺口相对应的位置处。本实用新型通过所述光电传感器能够检测到所述晶圆盒内放置方向错误的所述晶圆,从而确保所述晶圆的缺口能够和机台上的挡PIN正确匹配以将所述晶圆装载到机台的指定位置。
今年以来颀中科技新获得专利授权10个,较去年同期增加了400%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6821.45万元,同比增40.85%。
数据来源:天眼查APP
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