华海清科获得发明专利授权：“用于电涡流传感器的标定方法、测量方法、装置及设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于电涡流传感器的标定方法、测量方法、装置及设备”，专利申请号为CN202411612206.X，授权日为2025年3月14日。

专利摘要：本申请提供了一种用于电涡流传感器的标定方法、厚度测量方法、装置及化学机械抛光设备，该方法包括：在对晶圆进行化学机械抛光前，获取电涡流传感器的信号源产生的第一激励信号；在对晶圆进行化学机械抛光的过程中，获取电涡流传感器的信号源产生的第二激励信号，并获取电涡流传感器采集到的晶圆信号；根据第一激励信号和第二激励信号，对晶圆信号进行修正，得到修正后晶圆信号；建立根据修正后晶圆信号确定的标定信息与预先确定的晶圆厚度之间的映射关系，以对电涡流传感器进行标定。本方案提高了通过电涡流传感器测量得到的金属薄膜厚度的准确性。

今年以来华海清科新获得专利授权17个，较去年同期增加了54.55%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。