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拓荆科技获得发明专利授权：“提供有可调升降环的晶圆加热盘”

来源：证券之星企业动态 2025-02-26 02:59:20

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“提供有可调升降环的晶圆加热盘”，专利申请号为CN202111484096.X，授权日为2025年2月25日。

专利摘要：本发明揭露一种晶圆加热盘，包含用于承载晶圆的一盘体及以可升降的方式连接于该盘体外围的一升降环。升降环具有的一表面可相对于晶圆的反应表面在一高位和一低位之间的范围移动并藉此决定晶圆的边缘沉积表现。所述低位的升降环的所述表面低于晶圆的反应表面。

今年以来拓荆科技新获得专利授权7个，较去年同期增加了250%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了3.14亿元，同比增49.61%。

数据来源：天眼查APP

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