证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶盛机电(300316)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种抛光设备”,专利申请号为CN202411471850.X,授权日为2025年2月25日。
专利摘要:本申请涉及半导体抛光技术领域,尤其是涉及一种抛光设备,包括:设备主体,设备主体用于硅片抛光,设备主体具有加工室;过滤机构,过滤机构用于对去除设备主体内部的颗粒物,过滤机构包括:净化室,净化室连接于加工室上,净化室和加工室至少部分连通;第一过滤组件,第一过滤组件连接于净化室和加工室之间,第一过滤组件可沿第一方向送风并过滤,第一方向是指加工室到净化室的方向;以及第二过滤组件,第二过滤组件连接于净化室和加工室之间,第二过滤组件可沿第二方向送风并过滤,第二方向是指净化室到加工室的方向;使得在加工室和净化室之间形成循环气流。
今年以来晶盛机电新获得专利授权23个,较去年同期减少了32.35%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6.11亿元,同比增1.92%。
数据来源:天眼查APP
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