证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“半导体处理设备及方法”，专利申请号为CN202011642968.6，授权日为2025年2月21日。
专利摘要：本申请涉及一种半导体处理设备及方法。在本申请的一实施例中，所述半导体处理设备包括：晶圆承载盘体，其中设置有下电极，所述下电极耦接到直流电源；及上电极，其与所述晶圆承载盘体相对设置，所述上电极经由匹配电路耦接到射频发生器，且经由低通滤波器接地。
今年以来拓荆科技新获得专利授权6个，较去年同期增加了200%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了3.14亿元，同比增49.61%。
数据来源：天眼查APP
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