证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“反应腔的开腔机构、反应腔系统和半导体器件的加工装置”，专利申请号为CN202211685302.8，授权日为2025年2月21日。
专利摘要：本发明公开了一种反应腔的开腔机构、一种反应腔系统和一种半导体器件的加工装置。该开腔机构包括：至少一个升降机构，其底座连接该反应腔的侧面，其上部活动端连接该反应腔的腔盖，用于带动该腔盖进行上升及下降；以及机械限位装置，其底部设置于该升降机构的底座，其顶部在该腔盖上升到达行程上限时，抵接该腔盖的下表面以支撑该腔盖。通过采用上述配置，本发明能够防止腔盖突然坠落的风险。
今年以来拓荆科技新获得专利授权6个，较去年同期增加了200%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了3.14亿元，同比增49.61%。
数据来源：天眼查APP
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