证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种泵组系统、工艺方法、装置及半导体工艺设备”，专利申请号为CN202211457435.X，授权日为2025年2月14日。
专利摘要：本发明提供了一种泵组系统、工艺方法及半导体工艺设备，用于半导体原子层沉积工艺，泵组系统包括：反应腔室，至少一种前驱气体通入反应腔室进行沉积反应；真空干泵，真空干泵通过门阀与反应腔室相连通，用于抽取反应腔室中的残留气体；以及至少一个分子泵，分子泵的一端与反应腔室相连通，另一端与真空干泵相连通，在前驱气体分别进行沉积反应后，向反应腔室内通入载气气体吹扫，载气气体再通过分子泵流至真空干泵排出，从而降低反应腔室内的气体压力。
今年以来拓荆科技新获得专利授权4个，较去年同期增加了300%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了3.14亿元，同比增49.61%。
数据来源：天眼查APP
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