阿石创获得发明专利授权：“一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示阿石创（300706）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置”，专利申请号为CN201911015305.9，授权日为2025年2月7日。

专利摘要：本发明公开一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，校正平台安装在设备底座上方，主油缸系统包括主油缸支架和滑动安装在主油缸支架上的主油缸，主油缸支架通过第一运动驱动机构安装在设备底座上；靶材顶出油缸系统包括两个以上靶材顶出油缸，各靶材顶出油缸分别通过一第二运动驱动机构安装在设备底座上，校正平台上表面对应每个靶材顶出油缸分别开设一用于靶材顶出油缸顶部伸出并滑移的顶出油缸滑槽；主油缸的侧面和校正平台的下方分别安装一靶材翘曲度激光测量仪。本发明不仅结构简单、靶材翘曲度校正与测量效率高、安全性强，而且实现了靶材翘曲度的高精度自动校正与检测，实用性强。

今年以来阿石创新获得专利授权1个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1174.04万元，同比减7.06%。

数据来源：天眼查APP

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