晶盛机电获得发明专利授权：“一种CVD反应器的温度控制方法和系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种CVD反应器的温度控制方法和系统”，专利申请号为CN202411297487.4，授权日为2025年1月28日。

专利摘要：本发明公开了一种CVD反应器的温度控制方法和系统，该CVD反应器的温度控制方法包括获取CVD反应器内各基片的当前顶部温度、预设顶部平均温度、基片载台的当前底部平均温度和CVD反应器的基片容纳数量，以及与各基片对应的各传热气体的当前组分系数；根据各当前顶部温度、预设顶部平均温度、当前底部平均温度和CVD反应器的基片容纳数量，确定基片载台的底部加热温度，并控制CVD反应器以底部加热温度对基片载台进行加热；根据各基片的预设顶部平均温度、当前顶部温度、CVD反应器的基片容纳数量、当前底部平均温度和各当前组分系数，确定各基片对应的各传热气体的调整组分系数，并控制CVD反应器以调整组分系数调整各传热气体的组分系数。

今年以来晶盛机电新获得专利授权6个，较去年同期减少了45.45%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6.11亿元，同比增1.92%。

数据来源：天眼查APP

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