高华科技获得发明专利授权：“MEMS加速度与压力集成传感器及其制备方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示高华科技（688539）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS加速度与压力集成传感器及其制备方法”，专利申请号为CN202310647135.6，授权日为2024年12月3日。

专利摘要：本公开的实施例公开了一种MEMS加速度与压力集成传感器及其制备方法。包括：第一衬底，设置有空腔；设置于第一衬底的埋氧层、器件层和第一钝化层，三者对应空腔的部分形成敏感薄膜；第一压敏电阻和第一欧姆接触区，内嵌于器件层的表面；设置于第一钝化层的牺牲层、结构层和第二钝化层，结构层和第二钝化层对应空腔的部分悬空形成质量块和悬臂梁；第二压敏电阻和第二欧姆接触区，内嵌于悬空部分的结构层背离第一衬底的表面；引线层和金属填充层，引线层设置于第二钝化层的表面，金属填充层分别与引线层、第一欧姆接触区和第二欧姆接触区电连接；第二衬底，与第一衬底背离第一钝化层的表面连接。提高集成化程度，降低生产成本，简化工艺流程。

今年以来高华科技新获得专利授权18个，较去年同期增加了260%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2965.39万元，同比增58.94%。

数据来源：天眼查APP

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