晶盛机电获得发明专利授权：“抛光垫粘贴用载体及粘贴方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“抛光垫粘贴用载体及粘贴方法”，专利申请号为CN202411149352.3，授权日为2024年11月29日。

专利摘要：本发明提供了一种抛光垫粘贴用载体及粘贴方法，属于晶片抛光技术领域，解决了现有技术抛光垫粘接时容易产生气泡凸起的问题。本发明包括支撑座；固定组件，固定组件包括固定件，固定件用于连接抛光垫的边缘部，固定件设置于支撑座上，且固定件具有移动自由度以移动拉伸抛光垫；以及流体供给组件，流体供给组件包括：储液件，储液件设置于支撑座内，储液件用于储液；喷管设置于支撑座内且与储液件通过阀门连接；喷孔设置于支撑座上且与喷管连通，用于供液体喷出至抛光垫。本发明利用支撑座上的流体供给组件向抛光垫喷射液体，抛光垫受液体冲击而紧贴于抛光盘上，从而防止抛光垫与抛光盘之间产生间隙，即降低了二者之间的气泡凸起生成率。

今年以来晶盛机电新获得专利授权122个，较去年同期减少了24.69%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.11亿元，同比增1.92%。

数据来源：天眼查APP

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