颀中科技获得实用新型专利授权：“晶圆对中机构及具有其的洗边装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示颀中科技（688352）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆对中机构及具有其的洗边装置”，专利申请号为CN202323346436.X，授权日为2024年11月1日。

专利摘要：本实用新型公开了一种晶圆对中机构及具有其的洗边装置，其中所涉及的晶圆对中机构包括用于承载晶圆的承载盘以及用于对所述承载盘上的晶圆进行对中的对中组件；所述对中组件包括三组环绕所述承载盘周侧且均匀分布的卡爪以及用于驱动三组所述卡爪在所述承载盘径向方向上移动的驱动单元，每一所述卡爪包括本体部以及至少一个固定于所述本体部上且相对所述本体部位置可调以改变与所述承载盘中心之间距离的抵接部，所述抵接部具有用于在晶圆对中时抵接所述晶圆边缘的外凸弧面；本实用新型所提供晶圆对中机构能够较好的保证晶圆在洗边过程中具有较好的位置精度，可解决现有技术中洗边装置因精度不稳定而导致的异常问题，使得晶圆洗边更均匀。

今年以来颀中科技新获得专利授权15个，较去年同期减少了11.76%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6821.45万元，同比增40.85%。

数据来源：天眼查APP

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