龙腾光电获得实用新型专利授权：“干蚀刻装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示龙腾光电（688055）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“干蚀刻装置”，专利申请号为CN202323515294.5，授权日为2024年11月1日。

专利摘要：本实用新型公开了一种干蚀刻装置，包括第一电极和绝缘边条，第一电极的边缘设置有多个第一通孔；第一电极还包括多个第二通孔，多个第二通孔位于第一通孔靠近第一电极中心的一侧，以持续导入吹扫气体，使得待刻蚀件在刻蚀后处于悬浮状态；绝缘边条围绕第一电极设置，且位于第一通孔远离第一电极中心的一侧，绝缘边条上设置有多个限位模块，限位模块与第一通孔相对设置，限位模块用于在对处于悬浮状态的待刻蚀件导出时，对待刻蚀件进行限位。本实用新型实施例提供的技术方案，待刻蚀件在刻蚀后处于悬浮状态，避免待刻蚀件与第一电极剥离时发生静电现象；并且通过设置多个限位模块防止刻蚀完成并处于悬浮状态的待刻蚀件在导出过程中发生偏移。

今年以来龙腾光电新获得专利授权175个，较去年同期减少了23.25%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.15亿元，同比增4.41%。

数据来源：天眼查APP

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