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晶盛机电获得实用新型专利授权:“一种用于安装隔热环的定心工装”

来源:证券之星企业动态 2024-11-16 03:34:14
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶盛机电(300316)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种用于安装隔热环的定心工装”,专利申请号为CN202323668136.3,授权日为2024年11月15日。

专利摘要:本申请公开了一种定心工装,该定心工装用于将反应腔的隔热环安装至加热器,该定心工装包括本体、第一凸起和第二凸起:本体设置为环形结构,第一凸起连接至本体上,第一凸起与本体配合形成能够抵接至加热器的第一台阶,第二凸起连接至第一凸起,第二凸起与第一凸起配合形成能够对隔热环形成限位的第二台阶。通过在定心工装上设置了与加热器相互配合的第一凸起及与隔热环相互配合的第二凸起,能够解决隔热环安装过程中安装难度大的问题,提升隔热环安装后的位置准确性,保证隔热环的安装精度,进而提升隔热环及整个热式薄膜原子层沉积设备中的隔热效果。

今年以来晶盛机电新获得专利授权110个,较去年同期减少了30.38%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.11亿元,同比增1.92%。

数据来源:天眼查APP

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