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晶盛机电获得发明专利授权：“一种抛光设备及检测方法”

来源：证券之星企业动态 2024-09-14 02:25:40

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种抛光设备及检测方法”，专利申请号为CN202410868193.6，授权日为2024年9月13日。

专利摘要：本申请涉及半导体抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光设备及检测方法，包括：抛光盘，所述抛光盘具有工作面；抛光垫，所述抛光垫粘接设置于所述工作面上；以及检测组件，所述检测组件位于所述抛光盘和所述抛光垫之间，并连接于所述抛光盘或所述抛光垫上，所述检测组件用于检测所述抛光垫和所述抛光盘之间的间距并输出。解决了抛光垫状态无法检测的技术问题，达到了实时检测抛光垫及气泡状态的技术效果。

今年以来晶盛机电新获得专利授权101个，较去年同期减少了23.48%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.11亿元，同比增1.92%。

数据来源：天眼查APP

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