拓荆科技获得实用新型专利授权：“气体传输系统及半导体镀膜设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“气体传输系统及半导体镀膜设备”，专利申请号为CN202323145114.9，授权日为2024年8月23日。

专利摘要：本实用新型提供了一种气体传输系统，以及一种半导体镀膜设备。所述气体传输系统包括第一管路、压力开关及第二管路。所述第一管路的第一端连接反应气源，而其第二端连接工艺腔室，以向所述工艺腔室提供工艺所需的反应气体。所述压力开关设于所述第一管路的第一端与第二端之间，用于检测所述反应气体的压力，并控制所述第一管路的通断，以经由所述第一管路的第二端向所述工艺腔室提供具有稳定压力的反应气体。所述第二管路的第一端连接吹扫气源，而其第二端接入所述第一管路中靠近所述压力开关的位置，用于向所述第一管路通入吹扫气体，以吹扫所述压力开关接入所述第一管路的位置。本实用新型可以吹扫压力开关的死区位置，以提升晶圆的成膜质量。

今年以来拓荆科技新获得专利授权23个，较去年同期减少了56.6%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了5.76亿元，同比增52.07%。

数据来源：天眼查APP

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