拓荆科技获得实用新型专利授权：“一种托盘位置的显示系统、调节系统和薄膜沉积装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种托盘位置的显示系统、调节系统和薄膜沉积装置”，专利申请号为CN202322861841.9，授权日为2024年8月23日。

专利摘要：本实用新型公开了一种托盘位置的显示系统、调节系统和薄膜沉积装置。显示系统包括：支撑结构，设置于盖板的上方，包括若干个图像采集装置，其中，所述图像采集装置经由所述盖板上的观察窗，获取所述观察窗下方的晶圆托盘与边缘环之间的边缘图像，所述边缘图像指示所述晶圆托盘到所述边缘环的相对位置；以及显示装置，连接所述若干个图像采集装置，用以放大显示所述边缘图像。通过上述托盘位置的显示系统，能够清晰地显示晶圆托盘在反应腔内的位置，从而有利于后续对晶圆托盘进行精确的位置调节，提高晶圆托盘的位置调节效率和精密性。

今年以来拓荆科技新获得专利授权22个，较去年同期减少了57.69%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了5.76亿元，同比增52.07%。

数据来源：天眼查APP

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