晶盛机电获得发明专利授权：“抛光液供给装置及供给方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“抛光液供给装置及供给方法”，专利申请号为CN202410569081.0，授权日为2024年7月23日。

专利摘要：本发明提供了一种抛光液供给装置及供给方法，属于晶圆抛光技术领域，解决了现有技术容易产生检测死角从而泄漏结晶物的问题。本发明的抛光液供给装置包括壳体、第一供给模块、堵塞检测模块以及碎晶模块，堵塞检测模块包括筛选单元和流量监测单元，流量监测单元设置于所述壳体内，用于获取所述壳体内抛光液的流量信息以确定所述筛选单元的堵塞状态；所述碎晶模块设置于所述筛选单元外侧，作用于所述筛选单元，且基于所述筛选单元的堵塞状态，以对所述筛选单元上的结晶物执行相应的碎晶操作。本发明通过双向的冲刷引导使得冲落的结晶物最终集中于筛选单元上，以便于流量监测单元的监测感知，且有利于后续碎晶装置的集中碎晶操作。

今年以来晶盛机电新获得专利授权82个，较去年同期减少了7.87%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了11.45亿元，同比增43.83%。

数据来源：企查查

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