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颀中科技获得发明专利授权:“适于高粘度光阻的缓冲装置与光阻供液系统”

来源:证券之星企业动态 2024-07-24 02:51:20
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证券之星消息,根据企查查数据显示颀中科技(688352)新获得一项发明专利授权,专利名为“适于高粘度光阻的缓冲装置与光阻供液系统”,专利申请号为CN202211200835.2,授权日为2024年7月23日。

专利摘要:本申请公开一种适于高粘度光阻的缓冲装置与光阻供液系统,所述缓冲装置包括储液罐、连通所述储液罐的进液管与出液管,所述储液罐包括底壁与侧壁;所述缓冲装置还包括设置在所述储液罐内的导引板,所述导引板呈倾斜设置,所述进液管自上向下延伸至所述导引板下方;所述导引板形成有排气孔。采用本申请缓冲装置及光阻供液系统,所述导引板利于光阻液面上方的气泡移动排出,降低异常风险,提高光阻涂布作业的均匀稳定性,利于生产。

今年以来颀中科技新获得专利授权11个,较去年同期减少了15.38%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了1.06亿元,同比增6.39%。

数据来源:企查查

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