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迈为股份获得实用新型专利授权:“一种真空镀膜装置及太阳能电池的制备设备”

来源:证券之星企业动态 2024-07-17 02:23:35
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证券之星消息,根据企查查数据显示迈为股份(300751)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种真空镀膜装置及太阳能电池的制备设备”,专利申请号为CN202322935310.X,授权日为2024年7月16日。

专利摘要:本申请公开了一种真空镀膜装置及太阳能电池的制备设备,属于太阳能领域。一种真空镀膜装置包括:壳体组件、溅射机构和离化机构;所述壳体组件形成真空镀膜空间;所述溅射机构设于所述壳体组件的内底部,在电源馈入时实现对基板的磁控溅射镀膜;所述离化机构设于所述壳体组件的内侧壁上,并与所述溅射机构离化减能连接;所述离化减能连接具体为:所述离化机构产生等离子体对所述所述溅射机构溅射出来的靶材粒子进行撞击实现二次离化,并碰撞或轰击所述溅射机构溅射出来的高能负性离子实现负性离子的减能。本申请可以对溅射出的靶材粒子进行二次离化,有效提高靶材粒子的离化率,提升膜层性能,且轰击高能负性离子实现减能,有效改善基板损伤问题。

今年以来迈为股份新获得专利授权54个,较去年同期增加了50%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了7.63亿元,同比增56.25%。

数据来源:企查查

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