拓荆科技获得发明专利授权：“用于加工晶圆的装置及方法”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于加工晶圆的装置及方法”，专利申请号为CN202010489623.5，授权日为2024年6月21日。

专利摘要：本申请涉及用于加工晶圆的装置及方法。在本申请的一实施例中，一种用于加工晶圆的装置包含加热器，其包含基座，所述基座的顶部包含环形边台及相对于所述环形边台下凹以容置晶圆的晶圆载盘；侧环，其包含外侧部分和顶部，所述外侧部分环绕所述基座的外侧壁，所述顶部覆盖所述环形边台的外侧部分且包含向心倾斜面；以及影子环，其底部包含与所述侧环的所述顶部的所述向心倾斜面匹配的倾斜面。

今年以来拓荆科技新获得专利授权10个，较去年同期减少了72.22%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了5.76亿元，同比增52.07%。

数据来源：企查查

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