拓荆科技获得发明专利授权：“晶圆支撑销升降装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆支撑销升降装置”，专利申请号为CN202011633338.2，授权日为2024年6月7日。

专利摘要：一种晶圆支撑销升降装置，包含：一支撑板、一滑块及一升降支杆。支撑板用于支撑多个支撑销。滑块以滑动的方式连接于一腔体的一内壁，使该滑块相对于该腔体滑动。升降支杆具有一第一端、一第二端和一第三端，该第一端连接至该支撑板，该第二端以枢转的方式连接于该滑块，该第三端连接至一致动器。该致动器用于控制使该升降支杆在一高位和一低位之间升降移动。藉由该升降支杆的第二端与该滑块枢转连接，靠近该高位的升降支杆使该支撑板趋近水平，而靠近该低位的升降支杆使该支撑板呈倾斜。

今年以来拓荆科技新获得专利授权9个，较去年同期减少了75%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了5.76亿元，同比增52.07%。

数据来源：企查查

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