证券之星消息,根据企查查数据显示晶盛机电(300316)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“晶棒检测装置及晶棒检测设备”,专利申请号为CN202322614343.4,授权日为2024年6月4日。
专利摘要:本实用新型提供了一种晶棒检测装置及晶棒检测设备,属于晶硅加工技术领域,解决了现有技术无法适配半棒尺寸进行检测的问题。本实用新型包括检测单元,所述检测单元至少为2个,且所述检测单元在第一方向上排列布置,分别用于检测晶棒上的不同点位;第一驱动机构,所述第一驱动机构作用于检测单元,可带动所述检测单元在所述第一方向相互靠近或远离;以及第二驱动机构,所述第二驱动机构作用于检测单元或第一驱动机构,可带动检测单元或第一驱动机构靠近或远离所述晶棒。本实用新型通过第一驱动机构驱动以调节检测单元之间的间距,完成不同尺寸晶棒的检测适配,特别是兼容半棒和整棒两种尺寸类型。
今年以来晶盛机电新获得专利授权73个,较去年同期增加了14.06%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了11.45亿元,同比增43.83%。
数据来源:企查查
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