迈为股份获得实用新型专利授权：“一种真空镀膜设备的加热器及镀膜设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示迈为股份（300751）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种真空镀膜设备的加热器及镀膜设备”，专利申请号为CN202323021092.5，授权日为2024年6月4日。

专利摘要：本申请公开了一种真空镀膜设备的加热器及镀膜设备，属于真空镀膜领域。一种真空镀膜设备的加热器，该加热器包括加热板，所述加热板包括四周区域和中间区域；所述四周区域的表面全覆盖式设有用于改变加热板四周区域热辐射率的第一图案化层；所述中间区域的表面部分覆盖式用于改变加热板中间区域热辐射率的第二图案化层；所述第一图案化层和所述第二图案化层为氧化层、喷涂层或者镀膜层。本申请可以对大尺寸镀膜基板各位置进行差异性加热，有效缩小同一基板上硅片之间存在的温差，提高镀膜均匀性。

今年以来迈为股份新获得专利授权39个，较去年同期增加了62.5%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了7.63亿元，同比增56.25%。

数据来源：企查查

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