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欧晶科技获得发明专利授权:“复合石英砂制备石英坩埚的方法及石英坩埚”

来源:证券之星企业动态 2024-05-11 02:05:18
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证券之星消息,根据企查查数据显示欧晶科技(001269)新获得一项发明专利授权,专利名为“复合石英砂制备石英坩埚的方法及石英坩埚”,专利申请号为CN201710482661.6,授权日为2024年5月10日。

专利摘要:本发明公开了一种复合石英砂制备石英坩埚的方法,分别称取天然石英砂和高纯石英砂进行分别预制和一次熔制,最终制成石英坩埚。本发明的优点在于,高纯石英砂的料层熔制所制成的薄气泡外层,其杂质含量和石英砂气液包裹体生成的微气泡数量与常规石英坩埚相比大幅度减少,既保证了石英坩埚在拉晶工作时的热源均匀的辐射,确保拉晶操作可以正常进行,拉制的单晶硅质量稳定;又保证了气泡复合层内的气泡在拉晶过程中不涨裂,降低了因长时间拉晶工作时石英坩埚外表面气泡膨胀破裂后与石墨坩埚的反应,增加石英坩埚的使用寿命,使其使用寿命增加至190小时,比常规石英坩埚寿命增加90小时以上,可以满足至少拉3?4根单晶棒的拉晶工艺需求。

今年以来欧晶科技新获得专利授权3个,较去年同期增加了200%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了8216.51万元,同比增81.81%。

数据来源:企查查

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