拓荆科技获得发明专利授权：“一种半导体加工设备及其反应腔室、工艺管路穿腔模块”

证券之星消息，根据企查查数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种半导体加工设备及其反应腔室、工艺管路穿腔模块”，专利申请号为CN202111655834.2，授权日为2024年5月10日。

专利摘要：本发明涉及一种半导体加工设备及其反应腔室、工艺管路穿腔模块，该半导体工艺管路穿腔模块包括模块本体及温控系统，模块本体设置有汽化通道；温控系统包括温度调节装置以及测控装置，温度调节装置设置于模块本体，测控装置设置于模块本体且测控装置与温度调节装置通信连接，测控装置用于检测模块本体的温度并据此检测信息控制温度调节装置；该半导体工艺管路穿腔模块采用独立模块化设计，其可拆卸地设置于反应腔室上，可以更换不同配置的半导体工艺管路穿腔模块，或者对半导体工艺管路穿腔模块进行改装，增减温控系统，形成可选配设计，提高装置的灵活性，便于使用，并且可以对模块本体温度进行精确控制，避免出现工艺气体液化的现象。

今年以来拓荆科技新获得专利授权6个，较去年同期减少了78.57%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了5.76亿元，同比增52.07%。

数据来源：企查查

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