迈为股份获得实用新型专利授权：“一种用于磁控溅射的阴极装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示迈为股份（300751）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于磁控溅射的阴极装置”，专利申请号为CN202322424295.2，授权日为2024年4月9日。

专利摘要：本实用新型公开了一种用于磁控溅射的阴极装置，该用于磁控溅射的阴极装置包括靶筒、靶材本体、磁棒和屏蔽罩，靶筒的一端与外部驱动源配合，以在外部驱动源的驱动下转动，靶材本体套设于靶筒，磁棒固定设置在靶筒的内部，屏蔽罩设在靶筒的至少一端且罩设于磁棒的端部，屏蔽罩罩设于磁棒的端部的部分上设有沿靶筒的周向间隔设置的多个屏蔽部，两个间隔设置的屏蔽部构成非屏蔽区。靶筒转动过程中能够周期性驱动屏蔽罩转动预设角度。该用于磁控溅射的阴极装置可以减弱溅射过程中靶材端部的深刻程度，从而延长靶材寿命，提高靶材利用率。

今年以来迈为股份新获得专利授权27个，较去年同期增加了50%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增39.56%。

数据来源：企查查

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