中微公司获得实用新型专利授权：“一种托盘结构及其外延生长设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种托盘结构及其外延生长设备”，专利申请号为CN202321327166.5，授权日为2024年3月12日。

专利摘要：本实用新型公开了一种托盘结构及其外延生长设备，该托盘结构包含：基座，其可设置于一旋转座上，所述基座的上表面包含一限位结构，所述限位结构包围形成一凹陷部；衬底支撑件，至少部分地位于所述凹陷部内，用于承载一衬底，所述衬底支撑件包括环绕衬底的内侧壁和与其一体设置的靠近所述限位结构的外侧壁，所述外侧壁的高度大于所述内侧壁的高度。其优点是：该托盘结构通过对衬底支撑件进行改进，可有效地防止衬底支撑件及衬底在高温高速旋转状态下飞出基座，有效地提高了托盘结构在工艺过程中的稳定性，有助于提高工艺成功率以及设备的可靠性，降低破片的风险。

今年以来中微公司新获得专利授权34个，较去年同期减少了5.56%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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