晶盛机电获得实用新型专利授权：“测量装置及晶圆测量系统”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“测量装置及晶圆测量系统”，专利申请号为CN202321541963.3，授权日为2024年3月1日。

专利摘要：本实用新型涉及一种测量装置及晶圆测量系统，测量装置包括固定组件、活动组件及测量组件，固定组件用于连接至移载装置，活动组件设置于固定组件，并能够相对于固定组件运动；测量组件相对于活动组件固定，测量组件能够运动至测量基准面平行于陶瓷盘的方位。该测量装置能够适用于处于不同状态的陶瓷盘，即使陶瓷盘倾斜设置，也能够通过活动组件相对于固定组件运动，使得活动组件能够稳定地支撑于陶瓷盘上，从而使得测量组件也能够稳定地与陶瓷盘或晶圆接触，保证对晶圆的测量精度，同时降低对陶瓷盘的位置精度要求。

今年以来晶盛机电新获得专利授权49个，较去年同期增加了68.97%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6亿元，同比增118.68%。

数据来源：企查查

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