中微公司获得发明专利授权：“一种隔离环组件、等离子体处理装置及处理方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种隔离环组件、等离子体处理装置及处理方法”，专利申请号为CN202010462098.8，授权日为2024年3月12日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理装置，等离子体处理装置包括真空反应腔和设于真空反应腔的上电极与下电极，上电极与下电极之间形成一处理区域，上电极与下电极之间产生射频电场，用以将反应气体解离为等离子体，真空反应腔内设置一隔离环组件，隔离环组件包括：第一隔离环，环绕设置于上电极外周，包括一内壁表面，第一隔离环可在第一位置和第二位置之间移动，第一隔离环位于第一位置，内壁表面与上电极的外周相对，第一隔离环位于第二位置，内壁表面暴露于上电极和下电极形成的处理区域内；第二隔离环，环绕设置于第一隔离环外周。本申请使得隔离环与电极对应的缝隙处能够彻底清理，降低了后续对基片处理造成潜在污染的风险。

今年以来中微公司新获得专利授权34个，较去年同期增加了21.43%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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