中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理装置及其导磁组件与方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置及其导磁组件与方法”，专利申请号为CN202010414741.X，授权日为2024年3月12日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理装置及其导磁组件与方法，装置包括：反应腔，其包括反应腔侧壁；介电窗，位于所述反应腔侧壁上；线圈，位于所述介电窗上；导磁组件，包含位于介电窗上的导电部件和位于介电窗上的导磁件，导磁件设置在至少部分导电部件的周围。本发明将导磁件与介电窗上的至少导电部件接触或设置在介电窗上的至少导电部件的周围，使介电窗上的线圈产生的电磁场更多地沿导磁件进入反应腔，减小输入到反应腔内的射频功率损耗，提高晶圆刻蚀效率。

今年以来中微公司新获得专利授权34个，较去年同期增加了21.43%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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