云南锗业获得发明专利授权：“一种碳化硅籽晶的粘接后的碳化方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示云南锗业（002428）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种碳化硅籽晶的粘接后的碳化方法”，专利申请号为CN202210688205.8，授权日为2024年3月12日。

专利摘要：本发明属于碳化硅单晶生长前处理领域，具体公开一种碳化硅籽晶粘接后减少空腔的碳化方法，（1）把高纯石墨板放在井式炉炉底，然后再把石英筒放置在石墨板上；（2）把粘接好籽晶的石墨台放置到石英筒内，在石墨台上的籽晶上放置一张圆形石墨纸作为缓冲层，再往上面放置压铁；（3）启动井式炉真空泵，进行10?30min的抽气，（4）打开进气孔阀门，以0.1?0.3MPa的流量通入氩气然后开始加热；（5），以30%的漏率抽真空，开启井式炉底部的加热电阻丝进行加热，加热程序设定为3?6h加热到碳化温度400?600℃，在碳化温度保温0.5?2h后结束加热，并让其自动降温到室温；本发明通过利用底部的电阻丝加热，中间气泡和有机胶中挥发物排出完全，长出的晶体表面光滑平整。

今年以来云南锗业新获得专利授权4个，较去年同期增加了300%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1928.1万元，同比增59.06%。

数据来源：企查查

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