中微公司获得发明专利授权：“等离子体处理装置及其绝缘窗组件”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体处理装置及其绝缘窗组件”，专利申请号为CN202010633541.3，授权日为2024年3月12日。

专利摘要：一种等离子体处理装置及其绝缘窗组件，其中，所述等离子体处理装置包括：真空反应腔，其内底部设有基座，所述基座用于承载待处理基片；顶盖，位于所述真空反应腔的顶部，所述顶盖具有若干个贯穿顶盖的开口；绝缘窗槽，位于所述开口内，其底部向真空反应腔内凸出，所述绝缘窗槽内具有气体输送管道，所述气体输送管道通过绝缘窗槽的底部向真空反应腔内输送反应气体；线圈，位于所述绝缘窗槽内；射频功率源，通过匹配器与线圈连接。所述等离子体处理装置中等离子体的浓度分布可调，且能够防止线圈的温度过高。

今年以来中微公司新获得专利授权34个，较去年同期增加了21.43%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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