证券之星消息,根据企查查数据显示罗博特科(300757)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种石英舟翻转装置”,专利申请号为CN202322139928.5,授权日为2024年2月9日。
专利摘要:本实用新型涉及一种石英舟翻转装置,包括:驱动机构,包括旋转伺服电机、联轴器和旋转轴,旋转伺服电机的输出端通过联轴器连接旋转轴;其中,联轴器的内壁具有至少两个水平的平面,旋转轴的端部具有与联轴器配合的水平面,且旋转轴还形成一连接水平面;旋转基座,用于装载石英舟,和旋转轴的连接水平面连接。本实用新型采用旋转伺服电机与旋转轴硬连接,在石英舟从直立状态翻转为插卸片状态,避免旋转伺服电机与旋转轴之间有齿隙,从而减少石英舟内硅片的卡片率和碎片率。
今年以来罗博特科新获得专利授权14个,较去年同期增加了100%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了3900.27万元,同比增24.52%。
数据来源:企查查
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