证券之星消息,根据企查查数据显示赛腾股份(603283)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“旋转吸附机构”,专利申请号为CN202323515515.9,授权日为2024年2月6日。
专利摘要:本实用新型公开了一种旋转吸附机构,属于半导体制造领域,其包括:轴套组件,其上、下端均向内凹陷形成有第一安装槽;轴承,固定在两第一安装槽中;吸附组件,包括转轴件和吸附台,转轴件设有凸缘,位于上方的轴承的内圈轴向限位在凸缘和第一安装槽之间;压环,与轴套组件的上端相接,位于上方的轴承的外圈轴向限位在压环和第一安装槽之间;固定结构,包括与转轴件螺纹连接的螺帽、承载于螺帽的内圈固定环、固定在轴套组件下端的外圈固定环;位于下方的轴承的内圈轴向限位在内圈固定环和第一安装槽之间,位于下方的轴承的外圈轴向限位在外圈固定环和第一安装槽之间。本实用新型采用上述结构,能够提高轴承安装后的可靠性。
今年以来赛腾股份新获得专利授权14个,较去年同期增加了133.33%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.48亿元,同比增12.17%。
数据来源:企查查
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