证券之星消息,根据企查查数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种金属膜厚测量方法和化学机械抛光设备”,专利申请号为CN202211115522.7,授权日为2024年1月26日。
专利摘要:本发明公开了一种金属膜厚测量方法和化学机械抛光设备,其中方法包括:利用电涡流传感器测量晶圆表面的金属薄膜的厚度,所述电涡流传感器包括依次叠放的检测线圈、激励线圈和补偿线圈;获取所述电涡流传感器的输出电压得到特征值,所述特征值等于输出电压的实部与虚部的比值,所述特征值与被测金属膜厚呈线性关系;根据所述特征值确定被测金属膜厚。
今年以来华海清科新获得专利授权4个,较去年同期减少了55.56%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.39亿元,同比增63.98%。
数据来源:企查查
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